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探索下一层创新
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汇聚薄膜工艺、计算模拟与 ALD 能源应用方向的专业经验。

薄膜工艺方法与技术应用 ↓理论与仿真模拟 ↓ALD 能源应用 ↓

研究方向

薄膜工艺方法与技术应用

表面化学、选择性沉积、ALD 器件与薄膜检测。

陈蓉的肖像

陈蓉

教授

中国科学技术大学本科;斯坦福大学硕士、博士;AMAT 与 Intel 高级技术职务。

荣誉:长江学者、国家万人领军、海外青千。

研究重点原子层沉积方法、工艺与装备。

曹坤的肖像

曹坤

教授

华中科技大学本科、硕士、博士;具有博士后研究经历。

研究重点选择性沉积工艺与应用。

杨帆的肖像

杨帆

副研究员

华中科技大学本科;微电子所硕士;西班牙博士;美国圣地亚哥博士后。

研究重点ALD 工艺与器件、SALD(空间原子层沉积)。

张晓东的肖像

张晓东

副教授

北京航空航天大学本科;杜克大学博士;哈佛大学博士后。

研究重点高真空镀膜工艺与检测。

研究方向

理论与仿真模拟

连接原子级反应与工程尺度行为的计算方法。

单斌的肖像

单斌

教授

清华大学本科;斯坦福大学博士。

研究重点跨尺度计算方法、势场模拟。

高远的肖像

高远

教授

上海交通大学本科;弗吉尼亚大学(UVA)博士;UIUC 博士后。

荣誉:海外优青。

研究重点有限元仿真、分子动力学。

文艳伟的肖像

文艳伟

副教授

武汉大学本科、硕士、博士;华中科技大学博士后。

研究重点DFT(密度泛函理论)、微反应动力学。

研究方向

ALD 能源应用

面向新能源与催化应用的颗粒包覆和 ALD 材料。

刘潇的肖像

刘潇

副教授

华中科技大学本科、硕士、博士;具有博士后研究经历。

研究重点颗粒原子层沉积、新能源应用。

杜纯的肖像

杜纯

副教授

中国科学技术大学本科;波士顿学院博士。

研究重点新能源催化 ALD 材料。